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1.粗糙度
2.波紋度
3.形狀
二、輪廓
蔡司三坐標?掃描時,探針尖中心點未經(jīng)校準的線交付時的總的校準輪廓為入S。
原始輪廓包括波紋度輪廓和粗糙度輪廓。中心線補償線作為表面參數(shù)。
輪廓中的長波成分與輪廓濾波器入c(無波紋的原始輪廓)相互抑制。
通過在原始輪廓上應(yīng)用濾波器入c和入f形成輪廓,其中的短波和長波的成分偏差相互抑制。

1.輪廓濾波器
2.截止值
3.Gaussian濾波器DIN EN ISO11562
4.入s,入c,入f,
5.傳輸帶
6.入s 濾波器
7.入c濾波器
8.入f濾波器

1.取樣長度(Ir)
2.評定長度(In)
3.行程長度(lt)
4.清潔工件并將工件放置在一個穩(wěn)定的位置上。
5.定位工件時,使其表面與探針軸垂直,表面結(jié)構(gòu)的槽的方向與測量方向垂直。
6.設(shè)置所需的輪廓濾波器(入c和入s用于粗糙度)。(通常為Gaussian濾波器)
7.測量
8.將輸入到技術(shù)文件中的允許數(shù)值與測量結(jié)果進行比較。

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蔡司三坐標粗糙度和輪廓度測量參數(shù)